장치 및 제어시스템



RGB 컨트롤러


다중 분석 시스템을 기반 하여 최적의 에칭 조건을 구현하는 제어시스템입니다. EF시리즈와 간편하게 호환/연동을 통해 최적의 에칭 팩터 및 수율을 향상합니다.



약품 자동 공급 시스템


에칭 첨가제와 같이 일정 농도 유지가 필수적인 약품을 자동 공급하는 장치로, 타약품의 투입량을 유량센서를 통해 측정하고, 이를 바탕으로 설정된 농도로 정밀하게 공급하는 시스템입니다.



첨가제 농도 자동분석 시스템


에칭 첨가제의 농도를 자동으로 분석하는 장치로서, 분석 인원 및 숙련도에 따른 분석결과 차이 발생을 줄이기 위해 농도분석 자동화를 통해 균일한 품질의 최상급 제품을 생산할 수 있습니다.



황산과수 에칭 콘트롤 시스템


황산 과수를 베이스로 하는 에칭용액를 제어하는 시스템으로 다중분석 시스템을 기반하여 최적의 에칭 조건을 구현합니다. 실시간 감시 및 제어 시스템을 통해 낭비되는 약품을 줄이고 이상 상황 발생시 즉시 대응할 수 있습니다.


(소프트에칭/하프에칭/플래쉬에칭 적용가능)



Cu-R


PCB 공정에서 발생되는 염화동액을 전기분해하여 재생하고 고순도 구리를 회수하는 장치로 폐기물을 절감하고 자원 재활용을 통해 환경보호에 기여하는 녹색 기술입니다.



PECS

PECS는 반도체의 플라즈마 공정 상태를 초고속 옵티컬 센서(100KHz)를 통해 수집/분석하여 어플리케이션에 최적화된 알고리즘을 적용하여 공정 효율을 극대화하는 시스템입니다.