미세패턴을 위한 뛰어난 현상력

미세패턴 전용 현상액


DC시리즈는 탄산칼륨 베이스의 DF현상 농축액입니다. DF현상시 Resist-Foot 잔존 완화 및 Side-wall 부분의 과현상을 억제하여 미세패턴에 뛰어난 현상력을 제공합니다.



특장점

                       

■ Dry film 및 PSR 적용

■ 생산성 향상

    : 공정상 현상 스컴 발생 감소 

■ 경제적이며 취급이 용이함

 

DF 현상테스트



DF 현상 적용 사례


(DFR film :HITACHI, 25㎛)