데이터를 통한 공정 운영 효율 최적화
PECS Plasma Eye Chromatics Stethoscope System

PECS는 반도체의 플라즈마 공정 데이터를 초고속 옵티컬 센서(100KHZ)를 통해 수집/분석하여 어플리케 이션에 최적화된 알고리즘을 생성하여 운영 효율을 극대화하는 시스템입니다.





특징


■ 초고속/고해상도 옵티컬 센서

■ 공정별 최적화된 알고리즘 제공

■ 공정별 맞춤 센서 선택 가능

  • Abnormal & Arc: HB-PSA
  • EPD 및 클린 상태: HB-PSD

Smart-Chamber 구현에 최적화

■ Etch & PVD 이슈 방지

■ 간편하고 직관적인 사용자 환경 및 분석기

■ Chamber 상태 예측

■ 기본 알고리즘 제공 및 설정 변경 기능


동작 원리


PECS 시스템 사양

공정별 타센서

ApplicationOES
VI-probe
PECSRemark
Plasma Intensity Transition
X
PECS 기준
Plasma
Abnormal
Discharge
ArcX
VI-prove 기준
FlickerringXX
PECS 기준
ParticleXX
PECS 기준
EPD


OES 기준
Clean
X
OES 기준
Plasma Shift
(PM 후 구동 시점, PM 시기)

X
PECS 기준
Thermal Rediation (500°C ↑)XX
PECS 기준
Recipe Optimize

X
PECS 기준
1 st wafer effect
X
PECS 기준
Purge (500°C ↑)XX
PECS 기준

시스템 사양

DescriptionsSpectifications
Dimention100 x 250 x 160 (mm)
Resolution65,536 counts
Sampling Rate100,000 Hz
10usec / scan
AD Converting16 bit 10 MHz
Gain Control-22dB to 20dB
(Gain Module, Optical Fiber)
Sencor TypeSensor Module, Optical Fiber
Spectral
Response
Range
(nm)
PECS-HB-100blue400 to 520 (Peek 460)
Green520 to 600 (Peek 540)
Red600 to 720 (Peek 620)
PECS-HB-110Blue400 to 520 (Peek 460)
Green520 to 600 (Peek 540)
Red600 to 720 (Peek 620)
8 CH325 ro 725 (50um 간격)