다중 분석 시스템을 통한 최적의 에칭 조건 구현

염화동 콘트롤 시스템 RGB 시리즈


염화동 콘트롤 시스템은 다중 분석 시스템을 기반하여 최적의 에칭 조건을 구현합니다.  EF시리즈와의 간 편한 호환 및 연동을 바탕으로 최적의 에칭 팩터 및 수율 향상에 기여합니다.

염화동 컨트롤 시스템 사용의 이점

                       

■ 최적의 에칭 조건 구현
- RGB 컬러센서/ORP/염산/비중 측정 등 다중 분석 기반

■ EF시리즈와 호환/연동으로 에칭 팩터 및 수율 향상 

■ 제어 정밀도 향상 및 고장 리스크 방지

- 듀얼센서(RGB/ORP), Time On/Off 및 HBC 제어알고리즘 적용 

■ 다중 실시간 트렌드 분석을 통한 각각의 센서값 관리

■ 사용자 편의성을 극대화한 직관적인 UI
■ 상/하한 경보시스템 및 센서 오동작 알람 기능
                            

    


제품 안내 및 사양


항목타입/모델

염화동 에칭용 RGB05

고염산 염화동 에칭용 RGB05 H

디스플레이

(고객 선택사양)

12인치 LCD / 15인치 LCD,

해상도 1024 X 768

제어범위HCL

0.1 ~ 2.5 mol/L

2.0 ~ 4.0 mol/L
NaClO3

0 ~ 1200 mV

0 ~ 1200 mV
S.G0.800 ~ 2.0000.800 ~ 2.000
Temp

0.0 ~ 100.0 °C

0.0 ~ 100.0 °C
측정 정밀도제어범위 2.0% 이내제어범위 2.0% 이내
제어약품
         HCL, NaClO3/H2O2, H2O
제어출력무전압 A 접점
전원
          프리볼트 100~240V [50~60Hz]
순환펌프 모니터링
원격제어

제품 안내 및 사양