장치&제어 시스템
다중 분석 시스템을 통한 최적의 에칭 조건 구현
다중 분석 시스템을 통한 최적의 에칭 조건 구현
황산 과수를 베이스로 하는 에칭용액를 제어하는 시스템으로 다중분석 시스템을 기반하여 최적의 에칭 조건을 구현합니다. 실시간 감시 및 제어 시스템을 통해 낭비되는 약품을 줄이고 이상 상황 발생시 즉시 대응할 수 있습니다.(소프트에칭/하프에칭/플래쉬에칭 적용가능)
