미세패턴을 위한 뛰어난 현상력
DC시리즈는 탄산칼륨 베이스의 DF현상 농축액입니다. DF현상시 Resist-Foot 잔존 완화 및 Side-wall 부분의 과현상을 억제하여 미세패턴에 뛰어난 현상력을 제공합니다.
(DFR film :HITACHI, 25㎛)