시스템 구성
개 요
• 다양한 에칭시스템, 약품 공급/분석 장치, 센서 등과 이를 통합관리 할 수 있는 통합관리 시스템으로 구성됩니다.
• Graphic 기반의 에칭 공정 통합관리 기능을 제공합니다.
• 제조 공정의 다양한 운영정보를 DB로 관리하고, 고객사의 MES 등 전산 시스템에 인터페이스를 제공합니다.
• 최신 컨트롤 플랫폼(Software-defined device) 개념 도입으로 Hardware 신뢰성 향상, 운영 및 관리 방식을 표준화 하였습니다.
• 안정적인 공정관리로 공정 운영 효율을 향상시킵니다.
• 고객사별 설정된 약품 조성(농도)을 정밀하게 유지하여 에칭 품질 및 수율을 개선합니다.
• 적절한 약품의 조성 유지로 약품 소비량 절감이 가능합니다.
• 각 시스템 및 장치는 독립적, 통합 운영관리가 모두 가능합니다.
기대효과
Product : HBE-500
| 전체 라인에 대한 실시간 통합관리가 가능하여, 항상 최적의 공정 관리 및 운영 효율을 개선합니다. |
| 모든 라인의 이상 상태 ,약품 조성 등 공정 준비 상태에 대하여 실시간 원격 관리로 에칭 품질 및 수율을 개선합니다. |
| 적절한 약품의 조성 유지로 약품 소비량 절감이 가능합니다. |
| 유지관리를 위한 인력 운영의 효율 향상이 가능합니다. |
| 고객사의 전산 시스템과 연계하여 공정에 대한 통합관리, AI 분석이 가능합니다. |
링크 시스템 구성품
| 구 성 | 설 명 |
|---|---|
| 통합관리시스템 | 전체 시스템을 통합 관리하는 소프트웨어 |
| 에칭시스템 (염화동, 황산과수, 염화철 기타) | 고객사 운영조건에 따른 최적 제어 알고리즘 탑재 |
| 약품(첨가제) 공급장치 | 에칭 첨가제 등 약품 공급 및 농도 조절 |
| 분석장치 | 공급된 약품의 농도 분석 장치 |
| 각종 센서 및 트랜스미터 | 통신, 표준 입력(전류, 전압) 기반 센서 |
