LINK SYSTEM
에칭 공정 관리를 위한 Total solution 입니다.
• 에칭공정 통합 관리 소프트웨어(HMI), Edge-AI 예측/제어 알고리즘, 컨트롤 플랫폼, 전용센서 채택
• 미세 패턴, 경제성 등 운영 목적에 따라 시스템 선택 가능
• 시스템별로 단독 운영 또는 통합 운영 가능
적용기술
상황실에서 전체 라인에 대한 통합 모니터링, 제어, 관리 기능
최적 약품 투입 시점 예측 (라인 특성 반영 자동 최적화)
- 동일 Hardware에 Software의 변경으로 다양한 기능 추가 및 변경 가능
- 원격 Software download 및 제어 알고리즘 변경(고객사 사양 반영 가능)
- 광학기술, RF, 초음파 기술 등 비 접촉 방식의 기술 적용 (신뢰성)
- 고 분해능의 센서 소자, 전송 손실이 없는 통신방식 적용으로 계측 정밀도 향상
염화동, Soft Etching, Half Etching 등 다양한 에칭 방식에 적합한 시스템 제공
기대 효과
| 에칭 품질 향상(안정화) |
신뢰성 있는 계측 정보 및 AI 기술 적용으로 안정적인 공정 유지 가능 에칭 패턴의 균일성 향상 |
|---|---|
| 유지/관리 비용 절감 |
관리 비용 절감 (공정 유지 관리) 약품 사용량 최적 관리 고장 감소, 불량률 감소로 인한 제조 경비 절감 (라인 가동율 향상) |
| 원격 기술 지원으로 신속하고 정확한 시스템 관리가능 |
신속한 A/S, 원격 운영 지원(Option) 등 고객 중심의 사후 관리 방식 지원 |
| uSI, MES 등 고객사 시스템과 통합 지원 |
실시간, 이력 정보의 활용 가능 |
통합관리시스템
염화동 에칭
황산과수 에칭
공급장치
SI, MES, ERP 통합
통신 및 DB 기반 I/F
통합 공정 관리
효율적인 운영관리
에칭공정 통합 운영/관리
Data 기반 분석 기능
약품 절감 및 수율 개선
Software-defined 컨트롤러
Edge_AI 예측/제어
알고리즘 다운로드 가능
원격 기술 지원
운영 상황에 대한 다양한 Event 생성 및 관리
링크 시스템 구성품
| 구 성 | 설 명 |
|---|---|
| 통합관리시스템 | 전체 시스템을 통합 관리하는 소프트웨어 |
| 에칭시스템 (염화동, 황산과수, 염화철 기타) | 고객사 운영조건에 따른 최적 제어 알고리즘 탑재 |
| 약품(첨가제) 공급장치 | 에칭 첨가제 등 약품 공급 및 농도 조절 |
| 분석장치 | 공급된 약품의 농도 분석 장치 |
| 각종 센서 및 트랜스미터 | 통신, 표준 입력(전류, 전압) 기반 센서 |
