통합관리시스템
에칭 라인 전체 통합 관리
에칭 라인 전체 통합 관리
주요 화면
데이터 기반 분석 화면
보고서
에칭 공정 전체를 관리할 수 있는 통합 관리 소프트웨어입니다.
Graphic 기반의 시스템 실시간 감시 / 제어 / 분석 / 보고서 등의 기능을 제공합니다.
공정에 설치된 장치 및 시스템과 통신, MES등 상위 시스템과 I/F 제공합니다.(통신, RDBMS 등)
Client/Server 구성의 통합 관리 기능, 복수의 모니터링 시스템 구축 가능
R-DBMS 연동 기능을 내장하여 운영 데이터의 활용이 자유롭습니다
고객사에 따라 다양한 시스템 구성이 가능하며, 특성에 맞는 감시/운영 체계를 제공합니다.
기대 효과
전체 라인에 대한 실시간 통합관리가 가능하여, 항상 최적의 공정 관리가 가능하며, 공정 운영 효율을 개선합니다.
모든 라인의 이상 상태 ,약품 조성 등 공정 준비 상태에 대하여 실시간 원격 관리로 에칭 품질 및 수율을 개선합니다.
적절한 약품의 조성 유지로 약품 소비량 절감이 가능합니다.
유지관리를 위한 인력 운영의 효율 향상이 가능합니다.
고객사의 전산 시스템과 연계하여 공정에 대한 통합관리, AI 분석 등을 지원합니다.
- 에칭 공정의 시스템, 장치 통합 관리 소프트웨어로서 감시/제어/분석/보고서 기능
- 다양한 통신 Protocol 지원. MES, SI 등 고객사 전산망과 I/F 기능
- 고객사의 특성에 따라 다양한 시스템 구성 및 감시화면 제공
- 실시간으로 하부 시스템, 장치, 센서 등의 운영 상태 파악 및 경보 기능
- 실시간 / 이력 데이터 분석, 상관관계 분석 등 다양한 분석 기능 제공
- 일보, 월보, 연보 등 기본 보고서 및 사용자 정의 보고서 작성 가능 (Excel 연동)
- 약품의 사용량 분석 및 통계 처리
- 품질 관리 및 수율 개선을 위한 분석 정보 제공
- SMS 등 메시지 기능
- 원격 모니터링, 원격 기술 지원 가능
