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통합관리 시스템

에칭 공정 관리를 위한 solution 입니다.

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HWABAEK TECHNOLOGY

통합관리 시스템 : 에칭 공정을 위한 Solution

통합관리 시스템 : 에칭 공정을 위한 solution으로, 각 라인 별 다양한 에칭 설비를 중앙에서 통합 제어 및 관리가 가능.

• Graphic 기반의 시스템 실시간 감시 / 제어 / 분석 / 보고서 등의 기능을 제공

• SI, MES 등과 공정 제어용 장치 및 시스템과 I/F 제공

• R-DBMS 연동 기능을 내장하여 운영 데이터의 활용이 자유로움

• 고객사에 따라 다양한 시스템 구성이 가능하며, 특성에 맞는 감시/운영 체계를 제공

• 에칭 라인의 다양한 구성에 대한 대응이 가능

통합관리

그래픽 기반 실시간 통합 모니터링 / 관리 / 관리
안정적인 품질 관리
유지/관리 비용 절감
신속한 고장 대응 및 분석
다양한 시스템 구성에 대응 가능

데이터 활용

이력 데이터 저장 및 활용
실시간, 이력 데이터를 이용한 분석
다양한 보고서(일일, 주간, 월간, 년간)
Event(알람 등)에 대한 관리 및 결과 확인

시스템 인터페이스

SI, MES 등 고객사 시스템과 인터페이스 기능
실시간 데이터 수집 및 분석 지원
데이터 축적 / 분석에 활용 가능

원경 관리

신속한 문제점 파악 및 해결 지원
A/S, 원격 운영 관리 지원 기능
고객사별 차별화된 알고리즘 제공

데이터 분석

<대시보드:라인별 통합관리>

전체 공정라인에 대한 통합 모니터링 관리
동작 상태, 경보, 계측값 등 확인
CCTV 화면 연동
라인 특성을 반영한 다양한 구성 가능

시스템/장치 별 제어/관리

<시스템 /장치 별 제어/관리>

에칭시스템, 공급장치 등 장치 별 화면 제공
장치별 상세한 제어/설정 기능
사용자 등급별 설정/제어 권한 관리

데이터 기반 분석

<데이터 기반 분석>

각 장치 별 분석 모델 등록 및 관리
실시간, 이력 데이터를 이용한 분석
상관관계 분석등에 활용 가능
분석 모델 추가, 정보 변경, 표시 여부 선택 등 다양한 기능 제공

약품 사용량 통계

<약품 사용량 통계>

약품별 사용량 분석
일, 주, 월 단위 정보 기본 제겅

보고서 자동 생성/출력

<보고서 자동 생성/출력>

저장된 데이터를 이용한 자동 보고서 생성 기능
일보/주보/월보 기본 보고서 제공
사용자 정의 보고서 생성
MS Excel과 연동한 그래프 등 표시 가능
생성 시간/자동 출력 여부 선택 가능

시스템 관리

<시스템 관리>

등급별 사용자 등록 및 관리 기능
등급에 따라 설정/제어 권한의 제한 가능
통신 상태 관리 등 다양한 시스템 관리 기능 제공

특징

에칭 공정의 시스템, 장치 통합 관리 소프트웨어로서 감시/제어/분석/보고서 등을 제공
Link 시스템 구성에 따른 각각의 장치 및 시스템과 통신 및 관리 기능
상위 시스템(SI, MES 등)에 실시간 Data 연동 및 제어
고객사의 특성에 따라 다양한 시스템 구성 및 , 감시화면, 분석, 보고서 기능 제공
통합된 정보를 기반으로 신속한 상황 파악 및 이상상태에 대한 대응 가능
안정적인 에칭 품질 유지를 위한 실시간 모니터링 관리 기능
유지관리 비용 및 인력 절감
약품 사용량, 장치 가능 상태 등에 대한 종합적인 판단 가능
원격 기술 지원으로 신속하고 정확한 시스템 관리
추가된 다양한 상태정보(Event)를 이용한 신속한 조치 가능

기능

실시간 관리 : 장비, 센서 등의 운영 및 가동 상태, 이상 상태 파악 및 경보 기능
제어 : 사용자 등급에 따라 원격으로 모든 장치에 대한 제어 가능
시스템 운영상태 분석 기능 : 실시간 / 이력 데이터 분석, 상관관계 분석 등
일보, 월보, 연보 등 다양한 기본 보고서 제공, 사용자 정의 보고서 작성 및 자동 출력 (Excel 연동 가능)
표준 Protocol을 이용한 타 시스템 인터페이스 지원
고객사의 특성에 따라 다양한 시스템 구성 및 감시화면 제공
실시간으로 하부 시스템, 장치, 센서 등의 운영 상태 파악 및 경보 기능
실시간 / 이력 데이터 분석, 상관관계 분석 등 다양한 분석 기능 제공
일보, 월보, 연보 등 기본 보고서 및 사용자 정의 보고서 작성 가능 (Excel 연동)