현상액 소개
K₂CO₃ 탄산칼륨 베이스의 D/F 현상 농축액.
Resist-Foot 잔존 완화 및 Side-wall 부분의 과현상을 억제하여 미세 패턴에 뛰어난 현상액
제품명 : DC-50
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 적용 공정 | Pattern / PSR (Photoresist (PR) 현상 공정) |
| 제품 형태 | 액상 |
| 적용 라인 | MLB, FPC, RF-PCB, HDI |
R-COOH +K2CO3 → K+R-COO- + KHCO3
Resist Polymer becomes water soluble by K+ ion ( or Na ion).
Mechanism
| 성분 | 역할 |
|---|---|
| 탄산 칼륨 | DFR , PSR INK 용해 |
| 기타 성분 | 액상촉매, PH 조절 |
현상액 평가 결과
Performance (Resist Foot)
현상 공정에서 DFR Foot 을 최소화 하기 위해서는 미량의 경화동 DFR 잔사 제거 성분 필요
| 구분 | Sodim Carbonate | DC-50 |
|---|---|---|
| Image -SEM- |
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K2CO3 탄산칼륨 농도 변화
1
2
DFR 용해량에 따른 PH 변화
