글라스 박리액 소개
Amine 박리액으로 빠르고 완전한 D/F 박리가 가능. Glass 기판 박리에 용이하며,
노광과 베이크(Post-Exposure Bake)를 통해
가교화(Crosslinking) 된 D/F 박리력 우수 Bath내 원액 그대로 사용 할 수 있어 Make-up 건욕 또한 용이
제품명 : GDR-150
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 적용 공정 | Glass 유리기판 박리 |
| 제품 형태 | 액상 첨가제 (원액 사용) |
| 적용 라인 | UFG / UTG, Display Substrate(TFT), Glass Core
Substrate Optical/Sensor Glass, Photomask Substrate |
Mechanism
| 성분 | 역할 |
|---|---|
| 알칼리성분 | 알칼리원 |
| 아민성분 | DFR을 중화/팽윤하고,박리하는 성분 |
| 박리보조성분 | 가교화된 PR Crosslinked 잔사 박리성 향상 성분 |
Lifting Point
DFR 기판 표면으로 부터 박리 시간(Lifting Point) 110sec / 30% 내 반응. KOH 약품 대비 박리력 우수| 구분 | 농도 | 처리 전 | 처리 중 | L.P (Sec / %) | 박리 완료 |
|---|---|---|---|---|---|
| KOH | 10% | 
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300 sec / 35.7% |  |
| GDR-150 | 100% |  |
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110 sec / 26.2% |  |
DFR 표면 잔사
빠른 박리력으로 Glass 기판 표면 잔사 없음| 구분 | KOH 10% | GDR-150 100% | ||
|---|---|---|---|---|
| IMAGE | 외관 | CCD x20 | 외관 | CCD x20 |
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박리편 Size
DFR 을 쪼개는 (Depolymerization) 형태로 박리 되어 박리편 Size 최소화| KOH 10% | GDR-150 100% |
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35mm ~ 65mm
3mm ~ 15mm
